進水水源

蒸餾水、純凈水、去離子水　水溫1－45℃　TDS﹤5ppm   電導率﹤10μs/cm　 TOC﹤30ppb

出水水質

超純水電導率≤0.055μs/cm@25℃；電阻率： 18.25MΩ. cm@25℃

微粒子（大于0.05μm）含量：＜1/ml　　　熱源含量：＜0.001Eu/ml

微生物含量：＜1cfu/ml　　　　　　　　　 總有機碳量TOC：＜5ppb

金屬陽離子含量（單位PPb）：

Fe鐵＜0.005   Cu銅 ＜0.005   Al鋁 ＜0.005   Ni鎳 ＜0.005  

Zn鋅 ＜0.02   Cr鉻 ＜0.005   Na鈉 ＜0.01    K鉀 ＜0.02

陰離子含量單位PPb:

Ci^-氯 ＜0.01  NO₂^-亞硝酸根 ＜0.02  NO₃^-硝酸根 ＜0.02   So₄^2-硫酸根 ＜0.01

制水量

40-90L

瞬間取水量

1.5L/min

在線監測

配備在線電導率監測儀

儲水桶配置

配20升進口真空壓力桶（有NSF認證）

純化柱配制

配備5通道純化柱過濾

電源

220V/50HZ　

功率

30W

UF超濾配置

孔徑0.05μm

主機體積

長410mm×寬345mm×高440mm

重　　量

28kg