晶圓片快速脫氧高溫烘箱，10pa真空高溫氮氣烤箱訂制
本產品適用于半導體、電子產品、五金制品、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。
型號 | VOD-90 | VOD-210 | VOD-216 | |
真空度 | ≤10 pa | |||
電源 | AC380V 3φ 50HZ | |||
功率（KW） | 12 | 18 | 20 | |
工作環境溫度 |
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性能 | 溫度范圍 | RT+10℃～450℃ | ||
升溫時間 | 2 ℃/minute～4 ℃/minute | |||
降溫時間 | 2 ℃/minute～4 ℃/minute (400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔) | |||
結構 | 外殼 | 冷扎碳鋼板，經防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷 | ||
內膽 | 5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內外表面拋光 | |||
保溫材料 | 厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好 | |||
箱門 | 真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次) | |||
真空泵 | LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號); | |||
加熱系統 | 四面輻射加熱 | |||
電器系統 | 系統采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停； | |||
溫控輸出 | SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態繼電器 | |||
安全保護 | 加熱電流過流、系統短路保護、電壓過壓保護、真空泵過負載、 缺相保護、電爐超溫報警等功能 | |||
內容積（L）） | 91 | 215 | 252 | |
內部尺寸（㎜） | W450×D450×H450 | W560×D640×H600 | W700×D600×H600 | |
外部尺寸（㎜） | W800×D800×H1715 | W910×D990×H1865 | W1050×D950×H1865 | |
晶圓片快速脫氧高溫烘箱，10pa真空高溫氮氣烤箱訂制
