該設備廣泛適用于各種尺寸外延石英爐管鐘罩的清洗腐蝕。整體采用德國進口優質NPP 材質板材組合焊接而成,操作方式為全自動。工藝過程為:上料槽1→清洗液1浸泡→清洗石英管內外表面→上料槽2→清洗液2浸泡→清洗石英管內外表面→下料, 各槽體均采用德國進口聚丙烯(NPP)板,骨架采用優質不銹材料制作,上水管件采用PVDF材質,德國進口聚偏二氟乙烯作下水材質:德國PP 板作柜體窗板:德國進口透明聚氯乙烯(PVC)或德國進口聚丙烯(PP)作柜體材質。設備前面帶有透明門窗, 槽下設有接漏盤,漏盤裝有漏液報警裝置。 槽蓋密封采用U型結構,以保證其密封效果良好。 酸槽1、2槽中間設有DI水清洗槽,有冷熱DI水上給水,便于配酸和沖洗槽體,石英管,給水可旋轉。 槽1酸液排放為虹吸上排式,槽2酸液排放為自排式。 此外,機臺配有排風裝置。另配美國進口水槍、氮氣噴槍各一支和內置照明裝置,結構合理,外型美觀。設備技術*,科技含量高,各種配置勻為國內*,用于微電子半導體行業,也適合于高?;瘜W實驗室作實驗濕臺、腐蝕臺。非標規格,具體規格依客戶工藝確定。
主要產品
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立式半導體外延石英爐管鐘罩清洗機 產品信息