1.設備由五大部分組成：清洗槽部分、伺服系統及機械臂部分、層流凈化系統、電氣控制系統、機架及整機。 

2.清洗槽部分由有機溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。 

3.關鍵件采用進口件，包括氣動閥，PFA管道、全氟循環系統，保證工作介質（酸、堿）的潔凈度，避免雜質析出。 

4.工藝過程全自動，機械手在槽間的轉換由兩套伺服系統控制，可存儲多條工藝時序，方便使用。 

5.人機界面為觸摸屏，方便直觀。 

6.除裝片和取片需人工外，其余工藝動作均可自動完成，適用連續批量生產。 

7.工作區設凈化裝置，內置高效過濾器，滿足工作區凈化要求（1000—100級，10級為特制）。 

8.界面中有故障報警，安全保護，工藝時序號等功能。

三、主要指標： 

1.全自動形式。 

2.外形尺寸3100×1400×2500（長×寬×高） 

3.適用硅片：4

4.裝片能力：50片/批（2花籃，25片/花籃） 

5.工作區潔凈度：100級

6.槽間工藝轉換時間：Tmax≤3.5s