1．設(shè)備概要

本設(shè)備通過(guò)使用堿性脫膜液去除光刻膠，之后有噴淋、風(fēng)刀等除液?jiǎn)卧Ｃ撃ひ簼舛取⑻幚淼染唧w規(guī)格需和用戶具體商定。需根據(jù)溶液中的光刻膠含有率，定期更換液體。

2．設(shè)備規(guī)格

（1）處理對(duì)象：STN、CSTN液晶用玻璃板

（2）處理目的：光刻膠脫膜、干燥

（3）玻璃尺寸：14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、1.1mm

（4）籃子規(guī)格：貴公司提供

（5）基板傳送方向：從左到右，或從右到左

（6）設(shè)備外形尺寸：約9360×1400×1650mm

（7）干燥重量：約5000Kg

（8）基板傳送高度：從地面至基板下面為900mm

（9）傳送方式：水平枚葉式傳送方式

（10）傳送滾輪間距：基本為80mm

（11）處理時(shí)間：標(biāo)準(zhǔn)17秒/塊，標(biāo)準(zhǔn)傳送速度約2.1m/分鐘

（12）啟動(dòng)準(zhǔn)備時(shí)間：?jiǎn)?dòng)后約60分鐘

3．外供電源

（1）主機(jī)：3相，380V，50Hz，約80kWA

（2）純水用量：約32L/min，0.15Mpa G，電阻值10MΩ/cm以上

（3）冷卻水用量：約0L/min

（4）空氣用量：約2500NL/min，0.4～0.5Mpa G，潔凈干燥氣