廢氣通過引風機的動力進入高效填料塔，在填料塔的上端噴頭噴出吸收液均勻分布在填料上，廢氣與吸收液在填料表面上充分接觸，由于填料的機械強度大、耐腐蝕、空隙率高、表面大的特點，廢氣與吸收液在填料表面有較多的接觸面積和反應時間，廢氣中的易溶于水的物質幾乎全被吸附在吸收液上，從而達到凈化廢氣的目的。凈化后的氣體會飽含水份，經過塔頂的除霧裝置去除水份后直接排放大氣中。吸收液循環使用，吸收液根據污染物性質配制。
1.設備本身包含有本體、填充層、除霧層、循環噴淋水管路，以及循環水槽等；
2.洗滌塔本體包含廢氣入口、出口、視窗及塔內部用以支撐和固定的結構，確保設備耐腐蝕且增加使用壽命；
3.填充層中裝填的填料根據不同氣體的凈化選擇不同形式的填料, 一般有拉西環、填充球以及馬鞍形填料等。
4.除霧層選用高效除霧板作為除霧劑，其水汽去除率可達99%；
5.循環噴淋水管路主要用來將循環水送到噴水系統，噴水系統主要為環形布置的噴嘴，選用噴嘴具有不易堵塞、噴灑角度大，且液滴分布均勻的特點；
6.循環水槽與噴淋塔本體是一體的，并留有水入口及排水口；