ABL2000氣浮平臺
1專為晶片成像/缺陷探測/涂覆應用設計
2運動超平滑,速度穩定性突出
3直線編碼器或激光干涉儀反饋
4行程達1.2米
5全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
6全部非接觸設計
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.25um
平面度±0.25um
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ABL3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測*應用設計
2雙軸,大孔,開放式結構
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機驅動XY軸
5所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um
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ABL8000氣浮平臺
1專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應用設計
2十字交叉結構,剛性穩定性引人注目,幾何特性*
3所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
4行程達1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um
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ABL9000氣浮平臺
1世上zui高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
3行程達1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um
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AHL9000直線電機平臺
1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um
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ABG10000氣浮平臺
1氣浮導軌實現超平滑運動
2所有軸都預加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅動
3行程達1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
行程≤1000mm
精度±2um
重復定位精度±0.5um
直線度±1um
平面度±1um
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ABRS旋轉氣浮平臺
1專為高精密檢測，光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計
2無刷無槽伺服電機直接驅動
3突出的速度穩定性（電機無接頭效應）
4的運動性能,誤差小,無抖動
5直聯高精度旋轉編碼器
6扁平結構設計
7無機械接觸
臺面直徑128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
雙向重復定位精度<1arcsec
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ABRT旋轉氣浮平臺
1專為高精密檢測，光學檢測及制造和納米技術設備制造應用設計
2無刷無槽伺服電機直接驅動，高扭拒輸出
3突出的速度穩定性（電機無接頭效應）
4的運動性能,誤差小,無抖動
5直聯高精度旋轉編碼器
6超大的空心軸徑，無機械接觸
臺面直徑100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
雙向重復定位精度<1arcsec
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PlanarHD氣浮平臺
1zui大2m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2zui快的轉向和zui小的穩定時間
3主動偏轉控制
4直線光柵或激光干涉儀反饋
5行程1.2mx1.2m
行程≤1200mm
精度±300nm
重復定位精度±50nm
分辨率0.25nm
