ABL9000氣浮平臺

1世上zui高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
3行程達1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um

AHL9000直線電機平臺

1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學檢測及制造應用設計
2掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3行程達1.2米X1.2米
4雙直線電機驅動步進軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um

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ABG10000氣浮平臺

1氣浮導軌實現超平滑運動
2所有軸都預加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅動
3行程達1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
Travel行程≤1000mm
Accuracy精度±2.0um
Load負載84kg

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FiberCouple 130平臺

1同一條導軌上兩個運動平臺
2獨立或并列運動
32.5nm分辨率
4非接觸直線電機驅動
5交鑰匙的配套驅動和控制系統
6適合輔助軸

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VascuLathe ACS/ASR

1.直線平臺與旋轉平臺的高度集成化
2.ER筒夾系統使材料箝位自動化
3.可選夾緊裝置夾緊管
4*的控制系統結構
5.單或雙主軸結構
6.可選擇濕切割
7.擁有兩項PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956

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LaserTurn

1.直線平臺與旋轉平臺的高度集成化
2.氣動3爪卡盤或ER筒夾
3.較大的通孔可以使產品通過
4.可選擇在前后加工的平臺
5.直接驅動直線和旋轉電機技術

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PlanarHD氣浮平臺

1zui大2m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2zui快的轉向和zui小的穩定時間
3主動偏轉控制
4直線光柵或激光干涉儀反饋
5行程1.2mx1.2m

行程≤1200mm
精度±300nm
重復定位精度±50nm
分辨率0.25nm

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APT 系列平轉和傾斜組合轉臺

1滿足安全，國防建設和監測市場的需要
2把*的高精密機械與業界的控制技術結合在一起
3慣性穩定
4包含內置滑環，可連續旋轉360°
5高定位精度和速度性能
6易于安裝和系統集成的集成電路
7低維護，高可靠性提供zui低的擁有成本
平轉：zui高速度180°/秒，持續360°
傾斜：zui高速度180°/秒，范圍為±95°
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度：120弧秒
有效載荷：35公斤

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SMP

1，同時進行頂部和側面的3D表面測量
2，提高產量
3，節省時間和經費

AGV振鏡

1，光學反饋裝置提供優秀的熱穩定性
2，使用Aerotech的NmarkCLS控制器，可以實現工業級zui高的24位分辨率
3，光圈和焦距的范圍廣
4，多選擇的鏡面處理適應于多種激光波長

ANT系列納米技術平臺

1，大行程
2，高動態性能
3，高精度
4，高分辨率
5，易使用軟件