技術參數：

原子力顯微鏡測量模式: 接觸式原子力顯微鏡，真正非接觸式原子力顯微鏡，橫向力/摩擦力顯微鏡（LFM），導電原子力顯微鏡，磁力顯微鏡（MFM），開爾文探針（Kelvin Probe），掃描熱原子力顯微鏡（SThM），電容和靜電力顯微鏡（EFM），高級的納米光刻和納米操作能力，音叉原子力顯微鏡，三維掃描成像。 

●  原子力顯微鏡掃描器zui大測量范圍：110um X & Y range，22um Z range 
●  大尺寸樣品臺，全自動測量zui大直徑為160mm樣品。 
●  PZT/Voice Coil雙模式技術AFM 
●  全自動運動平臺，馬達驅動 
●  批處理軟件，自動圖像拼接縫合技術，可以測量超大樣品的三維形貌像 
●  *的32-bit DSP控制器，反饋技術(掃描范圍>10um時zui高掃描20 Hz,消除爬行現象) 
●  可以進行納米壓痕和劃痕實驗 
●  光學系統， XY閉環掃描技術 
●  *開放性軟硬件構架設計, 并開放所有源代碼供您的二次開發

主要特點：

● 原子力顯微鏡掃描器zui大測量范圍：110um X & Y range，22um Z range

● 大尺寸樣品臺，全自動測量zui大直徑為160mm樣品。

● PZT/Voice Coil雙模式技術AFM

● 全自動運動平臺，馬達驅動

● 批處理軟件，自動圖像拼接縫合技術，可以測量超大樣品的三維形貌像

● *的32-bit DSP控制器，反饋技術(掃描范圍>10um時zui高掃描20 Hz,消除爬行現象)

● 可以進行納米壓痕和劃痕實驗

● 光學系統， XY閉環掃描技術

● *開放性軟硬件構架設計, 并開放所有源代碼供您的二次開發