微波光解原理簡述：在波長范圍170nm-184.9nm（704 kj/mol - 647 kj/mol）高能紫外線的作用下，一方面空氣中的氧氣被裂解，然后組合產生臭氧（見反應①、②）；另一方面將惡臭氣體的化學鍵斷裂，使之形成游離態的原子或基團（見反應③）；同時產生的臭氧參與到反應過程中，使惡臭氣體zui終被裂解、氧化生成簡單的穩定的化合物，如CO2、H2O、SO2、N2等。
注：
1、惡臭物質能否被裂解，取決于其化學鍵鍵能是否比所提供的UV光子的能量要低。
2、裂解反應的時間極短（＜0.01s），氧化反應（見反應④）的時間需2-3s。
3、提供的UV光子總功率不夠或者含氧量不足，會因為裂解或氧化不*而生成一些中間副產物，從而影響凈化效率。對于高濃度大分子的有機惡臭物質體現得較為明顯。
4、UV光解凈化的長期穩定、高效，需要反應溫度＜70℃，粉塵量＜100mg/m3，相對濕度＜99%。
5、條件滿足的情況下，UV光解凈化的zui高凈化效率可達到99.9%以上。
對于某些有機化合物的部分化學鍵鍵能高于所提供的UV光子能量，如甲醛的“C=O”鍵的鍵能為728kj/mol。目前我們所提供的UV光子的能量為704kj/mol（正在研發742kj/mol和800kj/mol）。甲醛在170nm的UV紫外光的照射下，會裂解生成游離態的[C=O]*、H*。一部分[C=O]*與03反應生成CO2，一部分[C=O]*在經過與N2等惰性物質碰撞后失去能量，生成CO，臭氧量充足時可將部分CO氧化成CO2 。
如果提供的UV紫外線波長為160nm（742kj/mol），則反應過程相對就更加簡單一些：甲醛會被直接裂解成游離態的C*、H*，會被O3直接氧化成CO2和H2O
以上可見，不同波段的UV紫外線對于同一種物質的光解反應可以是不一樣的，UV紫外線的波長越短，即UV光子能量越高，物質的光解反應就越容易，反之越難，甚至沒有任何效果。
