【概述/特點(diǎn)】
KOFLOC公司簡(jiǎn)介:
日本Kofloc公司是一家專業(yè)制造質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應(yīng)用.該公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,LCD,燃燒,實(shí)驗(yàn)室分析,生物工藝等場(chǎng)合.
5100系列金屬密封型質(zhì)量流量計(jì)控制器
多種范圍量程,實(shí)現(xiàn)高精度的快速控制
流量范圍:10~500SCCM,1~5SLM,10~20SLM
控制閥:常閉,電磁隔膜閥
反應(yīng)時(shí)間:滿量程2%范圍內(nèi)≤1.5秒
精度:±1%以內(nèi)
線性:±0.5%以內(nèi)
重復(fù)性:±0.2%以內(nèi)
使用壓差:范圍≤5SLM時(shí),49~294KPA,5SLM <范圍≤20SLM時(shí),98~294KPA
壓力限制:980KPA
泄露率:1×10–11 Pa?m3/second 或更小
操作溫度:0~50°C
接觸介質(zhì)的材質(zhì): SUS316L,Au,PTFE
連接:, 1/4VCR,可選1/4SWL
控制信號(hào):0-5VDC
輸出信號(hào):0-5VDC
電源:+15 VDC (±15%) 100 mA , –15 VDC (±15%) 200 mA
安裝方向:任何方位