【概述/特點】
KOFLOC公司簡介:
日本Kofloc公司是一家專業制造質量流量計/質量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應用.該公司產品廣泛應用于半導體,LCD,燃燒,實驗室分析,生物工藝等場合.
5400系列金屬密封型質量流量計控制器
經濟型,適用于半導體等行業,5400是質量控制器,5410是質量流量計
流量范圍:10~500SCCM,1~5SLM,10~20SLM
控制閥:常閉,電磁隔膜閥
反應時間:到達設定值±2%范圍內≤1秒
精度:±1%以內
線性:±0.5%以內
重復性:±0.2%以內
使用壓差:范圍≤5SLM時,49~294KPA,5SLM <范圍≤20SLM時,147~294KPA
壓力限制:980KPA
泄露率:1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小
操作溫度:0~50°C
接觸介質的材質:本體: SUS316L
隔膜:Ni-CO
閥座:PTFE
密封材料:Ni,SUS316L
連接:1/4VCR
電氣連接:9針插座
控制信號:0-5VDC
輸出信號:0-5VDC
電源:5400:+15 VDC (±5%) 100 mA , –15 VDC (±5%) 200 mA
5410:+15 VDC (±5%) 100 mA , –15 VDC (±5%) 100 mA