- 系統特點:
■ 非接觸測量,避免對被測樣品造成損傷。
■ 采用高精密傳感器,保證測量數據的精準性。
■ 采用高性能采集卡保證數據采集的準確及穩定性。
■ 采用高性能主機配以強大的控制軟件對數據進行精準計算和分析。
- 技術指標:
- 測量尺寸:400mm×500mm(可定制)
- 探頭X/Y軸定位分辨率:±2μm
- 探頭Z(垂直)軸定位分辨率:±0.2μm
- 被測基片厚度范圍:50μm~500μm
- 測量精度:0.5μm
- 測試分辨率:0.1μm
- zui大測試速度:1片/30S
- 設備外形:
約:900mm(寬)×800mm(深)×600mm(高)
- 輸入源:
電源:AC 220V 50Hz 功率: <500W
真空:-100KPa