BDCY15-5系列離子束濺射薄膜壓力傳感器,應(yīng)用*的離子束濺射和離子束刻蝕工藝,將應(yīng)變電橋直接制作在金屬測壓膜片上。由于不用傳統(tǒng)的膠粘工藝,顯著改善了應(yīng)用式傳感器的*穩(wěn)定性及抗蠕變特性,使產(chǎn)品使用的溫度范圍大為擴(kuò)展。
目前該傳感器廣泛應(yīng)用于某新型大推力低溫發(fā)動機(jī)低溫介質(zhì)(液氮液氧)的壓力測量,具有體積小、精度高、穩(wěn)定性好、使用溫度范圍寬、溫度漂移小、電橋阻抗高、抗振動和抗沖擊性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),可用于高溫及低溫等惡劣的環(huán)境。
技術(shù)參數(shù)
1. 靈敏性:1.5±0.2mv/V
2. 量程:0~1-150Mpa(特殊要求可定做)
3. 準(zhǔn)確度:±0.1、±0.2、±0.5(%F?S)
4. 穩(wěn)定性:±0.1%FS/年
5. 介質(zhì)溫度:-196℃×+175℃
6. 溫度系數(shù):零點(diǎn):±1~2±10-4/℃;靈敏度:±1~2±10-4/℃
7. 橋臂電阻:1~3KΩ
8. 接液材料:膜片17-4PH,過程連接件1Cr18Ni9Ti
9. 過載:150%FS
10. 加速度:7.5g 三向
11. 沖擊、振動、高低溫及溫?zé)幔喊碐JB150相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行
:黃健
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