目前對于無機酸堿性氣體的處理方法主要以吸收法為主，其原理為藉由氣液兩相接觸的氣體吸收程序，將氣體中的溶質吸收輸送至液體內部，常見的吸收洗滌裝置有：噴淋塔（spary column）、板式吸收塔（plate absorption tower）及填充塔（packed tower）等，所用的裝置，必須能使氣體與液體充分接觸，以提高吸收效率。其中又以填充塔為各種氣體吸收洗滌塔中zui被廣泛使用，而國內半導體及光電業廠家，也多以使用濕式洗滌塔來作為處理酸性及堿性氣體之防制設施。驪源環保（LEEPN）近年在半導體及光電產業客戶包括：因特爾、華虹NEC、中芯、龍騰光電、龍飛光電、奇美電子、阜康同創、西虹電子、創億欣電子、九晶電子、億田硅業等近60家企業。

填充式洗滌塔塔中通常填充著比表面積很大的填料物（packing），其目的乃欲使氣體與液體間具有充分接觸的機會。操作時，氣體混合由塔底進入，液體吸收劑則自塔頂由一分布器噴淋而下，然后在其流經填料的途中，與逆流而上的氣體接觸，并吸收氣相中的溶質，遂成

一溶液自塔底流出。

一般而言填料在使用時，其堆置的方式常可成兩大類：1、任意堆置（dumped packing）的填料；2、整齊堆置（stacked packing）的填料。而國內廠家多半使用價廉質輕的塑膠材質填料，并以任意堆置方式填充。一般在設計洗滌塔時亦須考慮幾個部份：

1、尺寸：為使氣體速度均勻*，并在可能發生迴流之處設置分調節板。

2、噴嘴的選擇：一般洗滌液為循環使用，故高壓噴嘴式的洗滌塔對于所使用的液體要求zui嚴格。

3、液體處理設備：為防止洗滌液造成環境污染問題，因此經常循環使用洗滌液以減少廢水量，但也因此增加了污染物的濃度，另外選擇不同的洗滌液可同時處理不同的氣體。由于洗滌廢液具有腐蝕性，故亦需使用防蝕性材質。

4、潤濕因子：填充式洗滌塔為一利用洗滌液體與氣狀污染物之氣液接觸，進而吸收處理污染物之設備。因此，為了使液體能夠均勻分佈在填充物上，已增加氣體與液體*接觸之面積。

5、填充物之比表面積：填充物有非常多種，其可選擇的直徑尺寸從30mm 到95mm 都有。

6、液氣比：洗滌塔是利用液體將空氣中污染物吸收處理，所以液氣比為一相當重要的操作慘數，其對洗滌塔的效率有很大的影響。

7、操作參數的評估與設計： 根據Perry’s Chemical Engineers’Handbook：其總傳輸單位數（Number of overall mass transfer unit；NOG），可由氣液平衡關系求出。

8、填充高度的設計。