class100硅晶圓片涂膠后堅膜旦順電熱無塵烘箱 |
本公司生產(chǎn)的COL-系列無塵烘箱,即使在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100. 無塵烘箱特點: 1:全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵; 2 :采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE; 3:采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門 (特殊風道設(shè)計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門) 技術(shù)參數(shù): 1. 百級無塵烤箱型號:COL-2 2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500 3. 溫度范圍:RT+60℃~300℃ 4. 無塵烤箱潔凈度:100級; 5. 溫度均勻性: ±1.5% 6. 波 動 度:±0.5℃ 7. 電 源:380V 50Hz 7.5KW; 8. 箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE),內(nèi)室材料:采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料:超細玻璃棉; 9. 空氣循環(huán)裝置:大容量軸流電機; 10. 加熱方式:不銹鋼電加熱器; 11. 溫度測量傳感器:Pt100 鉑電阻; 12. 控制儀表:進口數(shù)顯溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃; 13. 超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統(tǒng),保證試驗品的安全; 14. 控制系統(tǒng):主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件; 15. 排 氣 口:ф50; 16. 隔 板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG。 無塵烤箱:, 傳真::蔣鑫, :www.done-e.com. |