指標(biāo) | 特級(jí)去離子水 | 一級(jí)去離子水 | 二級(jí)去離子水 | 三級(jí)去離子水 |
電阻率 MΩ·cm(25℃) | 18 | 10-15 | 5-10 | 0.2-1 |
電導(dǎo)率μS/cm | 0.05 | 0.06-0.1 | 0.1-0.2 | 1-5 |
大于1μm微粒數(shù),個(gè)/mL | 1 | 5 | 10 | 100 |
細(xì)菌個(gè)數(shù),zui大值,個(gè)/mL | 1 | 5 | 10 | 50 |
總有機(jī)碳含量,zui大值μg/L | 50 | 100 | 200 | 1000 |
二氧化硅總含量,zui大值μg/L | 2 | 20 | 50 | 100 |
氯含量,zui大值μg/L | 0.5 | 2 | 10 | 100 |
銅含量,zui大值μg/L | 0.2 | 2 | 5 | 50 |
鉀含量,zui大值μg/L | 0.5 | 5 | 10 | 100 |
鈉含量,zui大值μg/L | 0.5 | 6 | 10 | 200 |
鋅含量,zui大值μg/L | 0.2 | 2 | 10 | 100 |
鋁含量,zui大值μg/L | 0.5 | 5 | 10 | 100 |
鐵含量,zui大值μg/L | 0.5 | 5 | 10 | 100 |
鈣含量,zui大值μg/L | 0.5 | 5 | 10 | 100 |