去離子水是指除去了呈離子形式雜質后的純水。標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義為：“去離子水*或不*地去除離子物質，主要指采用離子交換樹脂處理方法。”現在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。

　　在半導體行業中，去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。

　　從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：

　　1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質

　　2、然后高壓通過反滲透膜

　　3、zui后一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物

　　4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程zui高電阻率可達到18兆。

相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電導率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水。