XH-MP150A設(shè)備是增強(qiáng)型手動分析探針臺，用于為各種半導(dǎo)體芯片、微波器件等提供一個光、電參數(shù)測試、分析的平臺，可吸附多種規(guī)格的圓片及芯片，并提供可調(diào)測試針及探卡測試針座。適用于大學(xué)、實(shí)驗室、大生產(chǎn)線對芯片進(jìn)行科研分析、抽查測試等用途。設(shè)備可代替美國CASCADE公司的EPS150系列的手動探針臺。
技術(shù)參數(shù)：
| 項 目 | 性能指標(biāo) | ||
| 可測圓片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | ||
| 工作臺 | 行程 | 160mm×160mm | |
| 結(jié)構(gòu) | 精密高剛性直線導(dǎo)軌，滾珠絲杠 | ||
| 分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根據(jù)需求絲桿導(dǎo)程可選） | ||
| 操作方式 | 手輪 | ||
| 承片臺Z向 | 接觸/分離 | 行程0.5mm | |
| 承片臺θ向 | 微調(diào)范圍 | ±15 º | |
| 針座平臺 （可選） | 升、降行程 | 25mm | |
| 接觸/分離 | 0.66mm | ||
| 吸片盤 | 吸片方式 | 真空吸附 | |
| 分檔 | （2″、3″）、4″、6″單獨(dú)真空吸附，三檔可選 | ||
| 上、下片方式（可選） | 快速抽屜式上、下片 | ||
| 顯微鏡及配件 | 立柱式支架 | 前、后，上、下、旋轉(zhuǎn)，仰角四維可調(diào) | |
| 微調(diào)支架 （可選） | X方向120mm，Y方向60mm，手輪調(diào)節(jié) | ||
| 顯微鏡 | 雙目體視顯微鏡45X | ||
| 照明燈 | LED環(huán)形燈 | ||
| 相關(guān)配件 | 打點(diǎn)器 | 可調(diào)三維座，驅(qū)動DC24V | |
| 測試探針 | 高彈性鎢針 | ||
| 三維針座 | 磁性吸附式，可調(diào)范圍：x: ±6.5mm, y: ±6.5mm， z: ±6.5mm | ||
| 外形尺寸 | 610mm×560mm×500mm（長×寬×高） | ||
| 設(shè)備重量 | 約30 KG | ||
| 使用環(huán)境 | 電源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
| 功率 | 0.05kW | ||
| 真空 | -80 KPa | ||
| 環(huán)境溫度 | 15ºC-30ºC | ||
| 相對濕度 | ＜60% | ||
相關(guān)部件:
承片臺:
2、三維座：
3、打點(diǎn)器
4、實(shí)驗室圖片
