本公司COL-系列無塵烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到*溫度控制精度。
技術參數:
1. 百級無塵烤箱型號:COL-2
2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 溫度范圍:RT+60℃~300℃
4. 無塵烤箱潔凈度:100級;
5. 溫度均勻性: ±1.5%
6. 波 動 度:±0.5℃
7. 電 源:380V 50Hz 7.5KW;
8. 箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE),內室材料:采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料:超細玻璃棉;
9. 空氣循環裝置:大容量軸流電機;
10. 加熱方式:不銹鋼電加熱器;
11. 溫度測量傳感器:Pt100 鉑電阻;
12. 控制儀表:進口數顯溫度控制器,PID調節,控制精度0.1℃;
13. 超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統,保證試驗品的安全;
14. 控制系統:主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件;
15. 排 氣 口:ф50;
16. 隔 板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG。
無塵烤箱:, 傳真::蔣鑫,
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上海旦順實業有限公司(Done-e)是一家集生產、銷售、服務于一體的烘箱、環境試驗箱、防潮箱產品及提供環境溫濕度管理專業解決方案的優秀供應商。通過自主生產與代理合作相結合的道路,公司已建立以烘箱、隧道爐、環境試驗設備等產品為主體的加工基地。并代理日本Superdry防潮箱,加拿大Microsystem環境儀器設備。
我公司擁有專業的技術人才,*的生產設備,強大的生產型經濟實體,有穩定的原材料供應商和充分的優質貨源,為公司的長遠發展提供了有利的保障。
作為中國*的環境管理系統提供商。公司專門為半導體、電子、醫藥、博物館提供各種環境管理解決方案。
為了確保公司產品繼續保持其競爭優勢, Done-e一直致力投資開發未來一代的*技術。目前 Done-e 已著手開發未來 5 至 10 年都可適用的高性能技術。
Done-e 的產品系列
溫濕度多點組網監控系統
溫濕度控管系統
溫濕度記錄儀
精密熱風循環烘箱烤箱
無塵烘箱烤箱
無氧化烘箱烤箱
真空烘箱烤箱
防潮箱
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晶圓片預熱烘箱,晶圓片熱風循環烘箱,150度熱風預熱烘箱 產品信息