四氯化硅處理成套系統
一、概述
四氯化硅處理成套系統，四氯化硅尾氣回收系統是專門應用于多晶硅生產線的尾氣回收裝置，利用本回收系統將廢氣回收成二氧化硅和鹽酸，本系統已獲國家，經產品投放市場，取得了良好的經濟效益。
生產多晶硅是一個提純過程，主要原料是三氯氫硅，再用氫氣進行一次性還原，這個過程中約有25%的三氯氫硅轉化為多晶硅，其余大量進入尾氣，同時形成副產品——四氯化硅。四氯化硅是高危產品，遇空氣遇水會產生對人體有害的*氣體。在這個過程中，如果回收工藝不成熟，三氯氫硅、四氯化硅、*、氯氣等有害物質極有可能外溢，存在重大的安全和污染隱患。而且多晶硅與四氯化硅的生成比例為1：15，即生產一噸多晶硅，就需要處理15噸的四氯化硅，處理量非常大。目前國內處理多晶硅在技術上已經開創出了兩個方式，一是將四氯化硅熱氫化后再生成生產多晶硅的原料，可以回收利用一部分四氯化硅，但不能*回收，還是會產生污染。第二種方法就是通過化工工藝將四氯化硅轉化成高附加值的化工產品，即無毒無害的二氧化硅，我公司經過幾年的實踐與應用，成功地將本技術應用于本行業中，將尾氣“變廢為寶”。
二、四氯化硅處理成套系統，四氯化硅尾氣回收系統工作原理
（1）、四氯化硅提純：
因四氯化硅中含有一些雜質，為了得到品質高的二氧化硅和鹽酸，將四氯化硅在蒸發器中蒸發，再經精餾塔提純，使其得到純度非常高的四氯化硅氣體。
（2）、四氯化硅水解：
純的四氯化硅氣體進入到水解塔內，同時循環液通過泵的作用使循環液均勻分布到各個霧化器當中，通過霧化器向下噴淋。與進入水解塔內的四氯化硅發生反應，形成硅酸及*氣體。
（3）、二氧化硅的形成：
硅酸進入壓濾系統進行壓濾成為濾餅，再進入干燥機干燥后形成純度為99.85％的二氧化硅。
（4）、回收鹽酸：
*氣體進入降膜回收裝置，氣體與水反應生成鹽酸。同時冷卻水進入本裝置內對*進行冷卻，以增加*的回收效率。
沒有反應完的*氣體再進入下一級吸收塔內，再進行一次鹽酸的回收，zui后氣體達標排放。
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