潔凈棚：采用工業鋁材（或不銹鋼方通、鐵方通噴塑）作為框架，風機濾網機組（FFU）送風，四周懸掛防靜電垂簾（或鋼化玻璃），其內部凈化級別可達到100-10000級。適用于操作區內局部凈化級別要求高的區域。
特點
1、組裝式結構設計，安裝方便，交貨周期短。
2、移動方便（可選用萬向輪）。
3、模塊化結構，容易提高凈化級別，擴展性強，且重復利用價值高。
4、相對超凈工作臺內部有效空間大；相對傳統無塵室，具有成本低、施工快、且對樓層高度要求低的優勢。
規格及型號
潔凈度 | 潔凈區域尺寸（feet） | 所用FFU數目 | 風量 （立方米/小時） |
10/100級 | 4×4×7 | 2 | 2300 |
4×8×7 | 4 | 4600 | |
6×8×7 | 6 | 6900 | |
6×12×7 | 9 | 10350 | |
6×16×7 | 12 | 13800 | |
10/100級 | 6×20×7 | 15 | 17250 |
8×8×7 | 8 | 9200 | |
8×10×7 | 10 | 11500 | |
8×12×7 | 12 | 13800 | |
8×16×7 | 16 | 18400 | |
8×20×7 | 20 | 23000 | |
10×12×7 | 15 | 17250 | |
12×12×7 | 18 | 20700 | |
1000級 | 6×12×7 | 2 | 2300 |
6×16×7 | 2 | 2300 | |
6×20×7 | 3 | 3450 | |
8×8×7 | 2 | 2300 | |
8×10×7 | 2 | 2300 | |
8×12×7 | 4 | 4600 | |
8×16×7 | 4 | 4600 | |
8×20×7 | 4 | 4600 | |
10×12×7 | 5 | 5750 | |
12×20×7 | 6 | 6900 | |
10000級 | 6×12×7 | 1 | 1150 |
6×16×7 | 1 | 1150 | |
6×20×7 | 2 | 2300 | |
8×8×7 | 1 | 1150 | |
8×10×7 | 2 | 2300 | |
8×12×7 | 2 | 2300 | |
8×16×7 | 2 | 2300 | |
8×20×7 | 2 | 2300 | |
10×12×7 | 3 | 3450 | |
12×20×7 | 4 | 4600 |
