濕度:
| 參數(shù) | 條件 | Min | Typ | Max | 單位 |
| 分辨率 | | 0.5 | 0.03 | 0.03 | %RH |
| 8 | 12 | 12 | Bit | ||
| 重復性 | | | ±0.1 | | %RH |
| 精度 不確定性 | 線性化 | 參見圖1 | | ||
| 互換性 | | 可*互換 | |||
| 非線性度 | 原始數(shù)據(jù) | | ±3 | | %RH |
| 線性化 | | <<1 | | %RH | |
| 量程范圍 | | 0 | | 100 | %RH |
| 響應時間 | 1/e（63%） 緩慢流動空氣 | | 4 | | S |
| 遲滯 | | | ±1 | | %RH |
| *穩(wěn)定性 | 典型值 | | <0.5 | | %RH/yr |
溫度：
| 參數(shù) | 條件 | Min | Typ | Max | 單位 |
| 分辨率 | | 0.04 | 0.01 | 0.01 | ℃ |
| 0.07 | 0.02 | 0.02 | ℉ | ||
| 12 | 14 | 14 | Bit | ||
| 重復性 | | | ±0.1 | | ℃ |
| | ±0.5 | | ℉ | ||
| 精度 | | 參見圖1 | | ||
| 響應時間 | 1/e（63%） | 5 | | 30 | S |
| 量程范圍 | | -40 | | 123.8 | ℃ |
| -40 | | 254.9 | | ||
