由于臭氧為強氧化劑，對物品損害較大，很少用作熏蒸消毒，規定大氣中允許0.2 mg/ m3,故消毒宜在無人條件下進行。
十、含量測定：
在500ml錐形帶塞玻璃瓶中，加入350ml蒸餾水和20ml20%KI溶液，在排氣管分流取臭氧氣2L通入錐形瓶，再滴5ml濃度為3mol/L的H2SO4溶液，靜置5分鐘后用0.1000mol/L的Na2S2O3滴定，反應至淺黃色時加１ml0.5%的淀粉指示劑，滴定至無色，計算消耗的量，每毫升mol/l的Na2S2O3溶液相當于48.00mg的O3。
O3濃度（毫克/升）=M×V×48×1000/2×2×100=12MV
式中：M=克分子濃度，應標定小數點后四位；
V=消耗毫升數。
當O3濃度較高時，可以取1升臭氧化氣，則計算公式為O3濃度（毫克/升）=24MV
　
臭氧是一種強氧化劑，具有廣泛殺滅微生物作用，包括細菌、芽胞、病毒、真菌等，其殺滅速度較氯快300-600倍。近年來，由于科學技術發展，臭氧在消毒方面應用有新的發展，如水、空氣、物體表面、食品、蔬菜的消毒等，目前在工業和農業中滅菌也有應用。對微生物的殺滅作用臭氧對微生物的殺滅作用主要依靠其強氧化作用。臭氧是一種廣譜殺菌劑，可殺滅細菌繁殖體、細菌芽孢、病毒、真菌，對原蟲及其卵囊也有很好的殺滅作用，還可破壞細菌毒素、乙肝表面抗原等。
　　臭氧水消毒將臭氧氣體通入水中對微生物具有快速殺滅作用，臭氧在水中殺菌速度比氯快。質量濃度為1.0MG/L的臭氧水，作用1分鐘，可*殺滅大腸桿菌、*；質量濃度為2.0MG/L和8.0MG/L的臭氧水，分別對綠膿桿菌和白色念珠菌作用1分鐘，殺滅率達*。質量濃度為12.0MG/L的臭氧水對枯草桿菌黑色變種芽孢作用20分鐘，殺滅率達99.9%。濃度為50MG/L的臭氧水作用30秒，可滅活懸液中水皰性口炎病毒；用其沖洗、作用1分鐘，可滅活干燥于玻璃片上的水皰性口炎病毒。將臭氧氣體以1.5-1.62MG/分鐘速度通入5升水中，分別作用5分鐘和10分鐘，可將水中菌片上的大腸桿菌和**殺滅；作用30分鐘對枯草桿菌黑色變種芽孢的殺滅率為81.23%
 
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