氣體塵埃粒子計數器的校正程序 • 校正所需設備 • 100 級潔凈房或潔凈臺 • 一臺用于作對比，尚在校正期內的塵埃粒子計數器，如 Metone3400 • 各粒徑的標準粒子，如 0.3um ; 0.5um ; 1um 等等 • 標準粒子氣體產生器，如 Model 255 • 可產生脫離水（ DI 水）的純水系統或類似裝置 • 其它普通電器，如 220V 電源插座，萬用表等等

校正的基本原理

標準粒子（如 0.301um ）通過 255 粒子產生器由液狀霧化成氣體，并由其內置泵通過 0.2um 的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數器同時或先后對取樣管進行抽樣測試，并比校 0.3um 粒徑的測試值。如果其平均值在 20% 以內，認為合格。如果不同型號的粒子計數器，一定要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數等參數，并且，還要明白怎樣理解其測試結果。

三 . 校正的基本步驟：

現假設對一臺常見的 Metone227B 作校正

•  首先，要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差別，其測試原理一樣，但 Metone3413 流速為 1CFM （立方英尺 / 分鐘），而 Metone227B 則為 0.1CFM 。

•  首先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內也打開 Metone227B 和 Metone3413 ，讓其預熱半小時。

•  準備好 255 的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。

•  將配好的標準液（如 0.301um ）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。

•  設置 Metone3413 和 Metone227B 的基本參數

•  取樣時間都設置為 00 ： 01 ： 00

•  取樣次數都設置 03

•  取樣模式都設置為 Auto

•  間隔時間都設置為 00 ： 00 ： 05

•  讀數模式都設置為 Cumulative

注：以上設置相同，因其流速有 10 倍差，故 Metone3413 測試結果會是 Metone227B 的 10 倍。

•  此時，打開 255 電源，調節脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現，干燥氣體流速計約 60SCFH 時后，保持其工作狀態。

•  此時，讓 Metone227B 和 Metone3413 同時工作，看其三次的平均結果，若在 20% 以內，視為合格。

•  拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。

•  以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。