Ø 移動范圍: X 軸驅動部: 100mm，電動立柱（垂直方向）: 250mm

Ø Z 軸測量范圍:1000μm（粗糙度時）、50mm（輪廓度時）

Ø 直 線 度:粗糙度時（0.05+1.0L/1000）μm ,L:測量長度 （mm）輪廓度時1μm/100μm

Ø 測量精度（輪廓）: Z 軸（垂直方向）指示精度 ±（1.8+│2H│/100）μm Z 軸分辨率 0.1μm/50mm，X 軸（橫方指示精度±（1+2L/100）μm ,L=測量長度（mm），粗糙度精度:X 軸分辨率0.1μm

Ø 粗糙度解析項目:測量參數 （JIS ,ISO,DIN,ASME,CNOMO 等標準）評價曲線 （斷面曲線,粗度曲線,波紋度曲線等）、特性圖形 （負荷曲線,振幅分布曲線等）

Ø 記錄倍率: 縱倍率（粗糙度用） 50,100,200,500,1K,2K,5K,10K,等及自動橫倍率（粗糙度用）50,100,200,500,1K,2K,5K,10K,等及自動縱倍率（輪廓用） 0.01～10,000,000 倍（任意,自動可）橫倍率（輪廓用） 0.01～10,00,000 倍（任意,自動可）

Ø 濾波種類:標準型濾波（2CR）,位相補償濾波（2CR）,高斯濾波.

Ø 取樣長度:0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm（7 種）及任意.

Ø 驅動速度:粗糙度0.03～3mm/s ;波紋度 0.03～20mm/s

Ø 傳感器: 差動變壓式原理和光柵尺