TG-2018 陶瓷壓力傳感器
一體化厚膜壓力傳感器是上近年來才試制成功的第三代陶瓷壓力傳感器。TG2018陶瓷壓力傳感器采用鋼玉陶瓷基體(99%Al2o3) ,壓阻漿料Hybrid工藝和功能激光修調(diào)技術(shù),確保每個(gè)傳感器具有*的電特性和可靠性。制造技術(shù)和一體化結(jié)構(gòu)的采用,使傳感器的工作溫度達(dá)-40℃…+135℃,過載壓力5倍以上.一體化厚膜壓力傳感器克服了普
通厚膜壓力傳感器芯片與陶瓷環(huán)采用黏結(jié)工藝而采用芯片與陶瓷環(huán)實(shí)現(xiàn)一體化,從而使傳感器的線性、重復(fù)性和遲滯性(Linearity, Hysteresis & Repeatability )有顯著的提高。同時(shí),一體化結(jié)構(gòu)克服了普通厚膜壓力傳感器芯片與陶瓷環(huán)的電氣聯(lián)接采用導(dǎo)電樹脂互聯(lián)而采用直接互聯(lián),傳感器的可靠性、穩(wěn)定性和工作溫度范圍大大得到提高。一體化厚膜壓力傳感器的優(yōu)異性能,是壓力傳感器的發(fā)展方向。
TG2018厚膜壓力傳感器主要技術(shù)參數(shù):
壓力范圍 bar 2 5 10 20 50
過載壓力 bar 7 12 25 50 120
靈敏度 mV/V 1.8-3.0 2.6-4.5 3.6-6.0 2.6-3.8 4.3-6.5
序 號(hào) 特 性 單 位 規(guī) 范
1 激勵(lì)電壓 VDC/stabilized 5-30
2 橋路阻抗 kΩ±20% 11
3 滿度信號(hào)范圍 mV/V 1.8-6.5
4 零位輸出 mV/V 0-±0.2
5 線性、重復(fù)性和遲滯性 %FSO typ ≤±0.2-0.4
6 參考溫度范圍 ℃ 25
7 工作溫度范圍 ℃ -40-+125
8 穩(wěn)定性 %FS/每年 ±0.2
9 靈敏度溫飄 %FS/℃ ≤±0.015 0-70℃
10 零位溫飄 %FS/℃ ≤±0.02 0-70℃
11 時(shí)飄 % ≤0.02