FFU（Fan Filter Unit）是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環風所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風速。FFU系統具有設計施工簡便，風速調節靈活，潔凈區易于變更等特點，因此已成為工業潔凈室的流行系統形式之一。
FFU具有特點：
*：靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
第二：可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負壓通風。這是FFU的*特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且安全。
第四：縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減少40%的運行成本。
FFU組合的關鍵性能參數：
模數尺寸（ceiling modular size）：安裝吊頂龍骨中心線的間距，FFU常用的標準模數尺寸為1200X600（4’X2’），1200X900（4’X3’），1200X1200（4’X4’）。
實際尺寸（actual size）：誠旺達的FFU過濾器的實際尺寸=模數尺寸-（龍骨斷面寬度-25mm），風機模塊的實際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的吊頂龍骨端面寬度為55mm，模數尺寸為1200，900，600所對應的FFU過濾器實際尺寸為1170，870，570，風機模塊的實際尺寸為1174，874，574。
機外余壓（ESP）：在某一設定風速下，風機模塊的總靜壓（TSP）扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力，即為機外余壓（ESP），單位是Pa。ESP是指FFU整機能克服潔凈室循環風阻力的能力，無論是標注FFU機外余壓或風機模塊的總靜壓TSP，都必需指名送風風速或風量，否則沒有意義。
輸入能耗（input power consumption）：FFU正常運轉時輸入電壓和輸入電流的乘積，單位是W。顯然，FFU在不同的運行工況點，即在不同的運行風量和總靜壓時，輸入能耗不同。因此，如果不指明運行工況點，輸入能耗值沒有意義。
單體噪音（noise level）：根據標準IES-RP-CC002，FFU正常運轉時在距離出風面中心正下方1.2mm處的噪音值，單位是dB（A）。FFU在不同的運行工況點，即在不同的運行風量和總靜壓時，噪音不同。因此，如果不指明運行工況點，噪音值沒有意義。
微振（micro vibration）：根據標準IES-RP-CC002，FFU在zui大運轉工況點時的振動幅度和振動速率，單位分別是mm和mm/s。
送風均勻度（air uniformity）：根據標準IES-RP-CC002，FFU正常運轉時，在距離出風面上方150mm（6”）的水平面上測量逐點的風速，得出平均風速值。平均風速與zui大風速和zui小風速的偏差比即為送風均勻度，單位為+/-%。標準IES-RP-CC002中要求FFU的任一點的送風風速與其平均風速的偏差均應在+/-20%以內。
過濾器效率等級（filter grade）：依據歐洲標準EN1822，過濾器等級從H10-H14，U15-U17。或依據美國標準MIL-282（HEPA），對于0.3um的效率值；依據美國標準IES-RP-CC007.1，對于0.12um的效率值。
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