ESCALAB 250Xi XPS 光電子能譜儀
ESCALAB 250Xi X射線光電子能譜儀結合了高靈敏度與高分辨率定量成像以及多種測試技術能力。
XPS是眾多材料特性表征技術中行之有效的測試手段。目前已成為從生物材料到半導體材料等許多技術領域*材料開發的重要工具。ESCALAB250Xi 能夠滿足不斷增長的分析性能和靈活性的需求。此外，ESCALAB250Xi 提供的可選表面分析技術可用于補充應用 XPS 所獲取的表征信息。*的Avantage數據采集和處理系統確保了從測試數據中挖掘盡可能多的信息。
ESCALAB250Xi 配備了微聚焦X射線單色器，提供優化的XPS性能。其市場的靈敏度確保了zui大樣本量。XPS并行成像是選擇橫向分辨率的方法，ESCALAB250Xi提供的成像空間分辨率優于<3μm。開發的成像檢測器提供了“免簽名“的定量數據。多技術能力和系列預備室及各種設備的可用性，確保該儀器將提供任何表面分析問題的解決方案。
主要特點
- 高靈敏度能量分析器
- 標配X射線單色器
- 小面積XPS
- 成像空間分辨率<3µm
- 定量成像
- 深度剖析性能
- 角分辨 XPS
- 微聚焦單色器
- 標準配置包含離子散射能譜（ISS）
- 標準配置包含反射電子能量損失譜（REELS）
- 標準配置包含預備室
- 多技術分析功能
- 多種樣品制備選項
- 全自動無人值守式分析
- 多樣品分析
- 基于Windows 的Avantage數據系統
- 雙晶體微聚焦單色器擁有500 mm直徑羅蘭圓，使用鋁陽極
- 用戶可選擇200微米至900微米任何大小X射線光斑照射樣品
- 透鏡/分析器/檢測器一體化使ESCALAB 250Xi具備同時擁有成像和小面積XPS測試能力的*性
- 兩種類型的檢測器可以確保分析者為每種分析選用*的分析器——二維檢測器用于成像，當檢測到高計數率時能譜分析使用基于通道電子倍增器的檢測器
- 配備兩組電腦控制虹膜機制透鏡——一組用于用戶控制分析區域，小面積測試模式下可下降到小于20微米，另一組透鏡用于控制接收角，對于高質量角分辨XPS至關重要
- 180°半球能量分析器
- 數字化控制的EX06離子槍可用于提供優異的深度剖析測試
- 即便使用低能離子，EX06離子槍同樣是一款高性能的離子源
- 可用于深度剖析中樣品原點多方位旋轉刻蝕
- 多技術能力
- 設計用于其它分析技術，不局限于XPS測試
- 透鏡組和能量分析器供電是可逆的——使用EX06離子槍，ISS（離子散射能譜）始終可用
- 電子槍加壓可升至1000V，為REELS提供優異的離子源
技術選項
- 帶非單色化X射線光源XPS
- AES（俄歇電子能譜）
- UPS（紫外電子能譜）
- 分析室使用5毫米厚鉬合金材料制造，zui大限度地提高磁屏蔽效率
- 與使用內部或外部屏蔽的屏蔽法相比，提供的屏蔽效能更佳
- 系統基本配置包含一體化的進樣室和進樣門鎖機構
- 額外的制備室可做為選配件
- 賽默飛世爾科技的表面分析儀器和部件由Avantage數據系統控制
- 這個業界的軟件集成了測試分析的所有方面，包括儀器控制、數據采集、數據處理和報告生成
- Avantage是基于Windows的軟件包，可以通過網絡遠程控制，輕易實現與第三方軟件如微軟Word軟件兼容
- Avantage負責從樣品分析到報告生成整個測試分析過程
