應用領域: CVD管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結構的可控生長等等;也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理.
產品特點: CVD管式爐專門設計用于高溫材料沉積之用。 硅鉬棒加熱、剛玉爐管爐膛, 可預抽真空,便于通入參加反應的氣體, CVD管式爐進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區設計隔板結構。具有溫度均勻、控制穩定、溫區間溫度擾動小、升溫速度快、節能、使用溫度高、壽命長等特點,是理想的科研設備。
設備型號 | CVD(D)-06/60/3 | CVD(Z)-06/30/1 | CVD(G)-07/50/2 | CVD(G)-09/50/1 | |
zui高溫度 | 1050℃ | 1300℃ | 1650℃/1000℃ | 1650℃ | |
使用溫度 | RT—1000℃ | 850-1300℃ | 1000-1600℃ | 1000-1600℃ | |
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | |
溫區個數 | 3個 | 1個 | 2個 | 1個 | |
加熱區長度 | 600mm | 300mm | 500mm(300mm/200mm) | 500mm | |
爐管尺寸 | ф60(外徑)×1400(mm) | ф60(外徑)×1000(mm) | ф70(外徑)×1450(mm) | ф90(外徑)×1450(mm) | |
爐管材料 | 石英管 | 剛玉管 | 剛玉管 | 剛玉管 | |
發熱元件 | 進口電阻絲 | 電阻絲/硅碳棒 | 硅鉬棒、電阻絲 | 硅鉬棒 | |
zui大裝機功率 | 4.5KW | 3kw/8kw | 10kw | 12kw | |
CVD-□□□ 選件功能 | /□ | /□ | | ||
V | | 真空系列:單級機械泵+擴散泵機組 | |||
| Q | 氣氛系統:浮子流量計;進口/國產質量流量計 |
具體工藝參數請登陸合肥日新高溫技術有限公司企業門戶:www.risine.com
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