磁懸浮渦輪分子泵
磁懸浮軸承渦輪分子泵采用五軸控制磁性軸承系統，無需使用油潤滑，在運轉過程當中，無任何摩擦，是真正做到*無油、免維護、*安裝的渦輪分子泵。
| 空冷型 | ||||||
| 型號 | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- |
| 203M | 303M | 403M | 803M | 1003M | 2003M | |
| 排氣速度L/S （N2） | 190 | 320 | 420 | 800 | 1080 | 2000 |
| zui大吸氣壓力Pa | 1.3 | 0.23 | ||||
| 到達壓力（烘烤后）Pa | 10-8Pa | 10-9Pa | ||||
| 廣域型 | |||||||||||
| 型號 | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- |
| 203LM | 303LM | 403LM | 803LM | 1003LM | 1303LM | 2003LM | 2203LM | 3203LM | 3403LM | 4203LM | |
| 排氣速度L/S （N2） | 190 | 320 | 420 | 800 | 1080 | 1300 | 2000 | 2050 | 3200 | 3300 | 4000 |
| zui大吸氣壓力Pa | 200 | 400 | 133 | 67 | 40 | 40 | 10 | 10 | |||
| 到達壓力（烘烤后）Pa | 10-8Pa | 10-9Pa | 10-8Pa | 10-6Pa | 10-9Pa | 10-8Pa | 10-7Pa | ||||
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