磁懸浮渦輪分子泵
磁懸浮軸承渦輪分子泵采用五軸控制磁性軸承系統,無需使用油潤滑,在運轉過程當中,無任何摩擦,是真正做到*無油、免維護、*安裝的渦輪分子泵。
空冷型 | ||||||
型號 | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- |
203M | 303M | 403M | 803M | 1003M | 2003M | |
排氣速度L/S (N2) | 190 | 320 | 420 | 800 | 1080 | 2000 |
zui大吸氣壓力Pa | 1.3 | 0.23 | ||||
到達壓力(烘烤后)Pa | 10-8Pa | 10-9Pa |
廣域型 | |||||||||||
型號 | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- |
203LM | 303LM | 403LM | 803LM | 1003LM | 1303LM | 2003LM | 2203LM | 3203LM | 3403LM | 4203LM | |
排氣速度L/S (N2) | 190 | 320 | 420 | 800 | 1080 | 1300 | 2000 | 2050 | 3200 | 3300 | 4000 |
zui大吸氣壓力Pa | 200 | 400 | 133 | 67 | 40 | 40 | 10 | 10 | |||
到達壓力(烘烤后)Pa | 10-8Pa | 10-9Pa | 10-8Pa | 10-6Pa | 10-9Pa | 10-8Pa | 10-7Pa |