用 途:
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
標(biāo) 準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
技術(shù)參數(shù)：
| 滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM～30SLM | |
| 控制范圍 | 2～100％F.S. | |
| 閥類型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) | |
| 準(zhǔn)確度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
| ＞10SLM | ±2％F.S. | |
| 線性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
| ＞10SLM | ±2％F.S. | |
| 重復(fù)精度 | ±0.2％F.S. | |
| 響應(yīng)時間 | ≤4sec | |
| 工作溫度范圍 | 5～ | |
| 工作壓差 | ≤10SLM | 0.1～0.5MPa |
| ＞10SLM | 0.1～0.3MPa | |
| 耐壓 | 3MPa | |
| 漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |
| 密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |
| 接頭選擇 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
| Swagelok | 1/8”、1/ | |
| 電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |
| 抗電磁干擾 | CE | |
| 重量 | 0.95Kg | |
主要特點(diǎn)：
★高精度，快響應(yīng)型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接頭
★兼容
