SAR150
高性能MEMS 陀螺 ±250°/s / ±100°/s
特征
??水平或垂直放置
??高可靠性和耐用性
??低震動靈敏度
??高過載和沖擊性5000g
??蝴蝶式平衡設計高機械常見模式
??靜電頻率調諧的閉環力反饋操作
??低零漂
??低噪音
??理想單晶硅材料
??晶圓級密封
??低電壓
??內部連續診斷檢測
11.43×11.43×4.00mm
挪威 SENSONOR 公司2010 年量產，SAR150 是為要求苛刻的應用程序而設計的一個
高的零偏和比例因子穩定性產品。運行中零偏穩定性為50°/h。
主要技術參數
參數 最小 典型 單位
重量 1.5 g
量程范圍 ±100 ±250 °/s
工作溫度 -40 90 °C
電壓 4.45 5.0 5.5 V
電流 17 mA
啟動時間 90 s
采樣頻率 2000 SPS
存儲溫度 -50 125 °C
動態過載 5000 °/s
機械沖擊 5000 g
分辨率 12 bit
比例因子±250°/s
±100°/s
0.25
0.10
°/s/LSB
°/s/LSB
比例因子精度 ±0.5 %
零偏溫度精度 ±0.5 °/s
靈敏度精度 ±1 %
運行零偏穩定性 50 °/h
噪音 ±250°/s
±100°/s
0.80
0.65
°/√h
°/√h
帶寬 (- 3dB) 50 Hz
非線性度 0.1 %FS
G 靈敏度 0.01 °/s/g
