在線原位分析真空環境及工藝氣體

優化工藝過程參數，提高鍍膜產品質量

對真空系統檢漏

減少停機時間，提高流片量

價格低廉，極為優異的性價比

濺射工藝在線質譜分析儀
SPM-MC濺射工藝在線質譜分析儀是專為鍍膜生產等工業應用開發在線濺射工藝四極質譜分析儀。分析室采用超高真空金屬密封和無油超高真空分子泵抽氣系統，真空系統控制采用單按鈕式，全量程自動監測并開啟四極質譜。取樣系統采用不銹鋼波紋管及手動閥門，直接接入工藝真空室采樣。分析器采用抗氧化敷釷銥絲雙燈絲和法拉第接收杯四極質譜，通過RS232接入筆記本電腦，由專用的控制軟件分析，完成對濺射工藝真空室的分壓測量和成份分析:掃描全譜，趨勢分析，檢漏等。

規格：
測量氣體范圍
XT100（M）             1到100 amu
XT200（M）             1到200 amu
XT300（M）             1到300 amu

檢測類型                    法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM）
靈敏度（A/mbar）   5×10-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率                       1 amu ，10%峰高
最小可檢分壓強         10-11  torr或10-14 torr（電子倍增   
                                  器），氮28，10%峰高
工作范圍                    10-4  torr到超高真空
工作環境溫度      40°C
烘烤溫度                    300°C（不包括CCU）
通訊端口                    RS-232C，115,200 Baud
軟件運行環境             Windows® 2000或XP