INFICON前載式雙探頭提供驗證的可靠性和持久性，與市場上任何探頭探頭相比，

具有熱穩定性。雙探頭提供備份晶體，在真空室內需要第二個晶體的關鍵

過程中是至關重要的。

規格  配置

對于從側面插入無足夠空間的應用，前載式結構易于插入晶體架。采用機械裝配

代替焊接，必要時可現場方便地更換部件。探頭可單個訂購或訂購探頭/法蘭組合

可選焊接的或直口接頭裝配的結構。 



探頭配置 
前載式雙探頭的標準配置中水管與晶片平行。當晶體監測沉積速率時，氣動

晶體擋板保護備份晶體。擋板是下拉式結構,  

便于更換晶體。為有效地消除RF干擾，暴露的晶體電極是全部接地的。


法蘭 
INFICON  提供兩種法蘭，1"  螺紋法蘭或  2¾" (CF40) ConFlat®  法蘭。 按用

戶要求可提供 KF40 法蘭。
 
法蘭連接 
前載式雙探頭可訂購與法蘭的組合。探頭/ 法蘭連接可采用直口接頭或焊接 ( 當與

 1"  螺紋法蘭組合時) 。如需焊接連接，必須在訂購前填寫INFICON 提供的一個探

頭長度規格表。直口接頭易調整，無釬焊或焊接的要求。法蘭可沿著管長移動，對

于 "E"  長度探頭,  在真空系統內的長度可在 20.3  厘米至 71.1  厘米 (8"- 28")  的范

圍內調整，對于 "G" 長度探頭，一旦確定所需長度，直口接頭可用手指擰緊管密封件。