INFICON CrystalSix六探頭是長過程中連續速率控制的關鍵設備。

無論是 OLED，MBE，太陽能，長過程光學鍍膜，或在兩次放空

之間有一個長的時間周期的其它過程，CrystalSix六探頭提供6片

石英監測晶體在一個六探頭探頭內的可靠性。當使用INFICON薄

膜控制儀, 一旦晶體損壞或變得不穩定時。CrystalSix自動將新的

晶體旋轉到位。晶體被自動更換,不影響過程的連續沉積速率監測

規格 特性

CrystalSix六探頭由氣動機構自動完成晶體的標引. 與采用昂貴的

在真空中發熱的電動馬達的競爭性儀器相比， 這個氣動的驅動馬

達提供更好的晶體熱穩定性。1 / 8 " 冷卻水管可保持六探頭的熱 

穩定性和六探頭布局的靈活性。 
與 INFICON  薄膜控制儀一起使用時，六探頭提供位置反饋，從 

而可使用特定材料于特定的位置。

優點 
 
■   六探頭內 6 片晶體有堅固耐用,  過程運行時間自動轉換的功能 
 
■  穩定的晶體溫度是由于晶體的氣動轉換  ( 競爭性儀器使用發熱的馬達)  

■  1/ 8 "  冷卻水管可保持熱穩定性和六探頭布局的靈活性 
 
■  供應可選的光學晶體擋板