功能
- 高清晰 1/4 VGA 有源矩陣彩色 LCD 顯示器 – 提供有英文界面和中文界面
- 標準 RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網)
- 設有“Quick Setup”(快速設定)菜單、6 個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕,易于設定和操作
- 用于開發、測試和下載過程的 Windows® 程序,以及用于將儀器數據記錄到 PC 進行過程分析與質量控制的 Windows 程序
- 精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測量速率為每秒 10 個讀數,測量分辨率為 ±0.03 Hz
- 存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
- 使用單傳感器或多傳感器監控源材料,提供精確的源分布監控
功能
- 高清晰 1/4 VGA 有源矩陣彩色 LCD 顯示器 – 提供有英文界面和中文界面
- 標準 RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網)
- 設有“Quick Setup”(快速設定)菜單、6 個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕,易于設定和操作
- 用于開發、測試和下載過程的 Windows® 程序,以及用于將儀器數據記錄到 PC 進行過程分析與質量控制的 Windows 程序
- 精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測量速率為每秒 10 個讀數,測量分辨率為 ±0.03 Hz
- 存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
- 使用單傳感器或多傳感器監控源材料,提供精確的源分布監控
規格
類型 | SQC-310 | |
---|---|---|
測量 | ||
QCM 輸入 | | 2 (4 optional) |
頻率范圍 | | 4 to 6 MHz |
頻率分辨率 | | ± 0.03 Hz at 0.10 sec measurement period |
厚度分辨率(密度 = 1,z 比值 = 1) | | 0.0368 Å |
頻率穩定性 | | ± 2 ppm total, 0 to 50C |
測量速率 | | 1 to 10 Hz |
速率顯示 | | 0.01 Å/sec |
控制 | ||
存儲 | | 100 processes, 1000 layers, 50 films |
控制輸出 | | 2 (4 optional) |
輸出信號 | | ± 0 to 10 VDC, 15 bits |
數字輸入/繼電器 | | 8 (16 optional) |
數字輸入 | | 5 VDC non-isolated |
繼電器 | | SPST Form 1A, 30V, 2A max |
接口 | | Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) |
遠程電源控制 | | Optional (IPN 782-900-017) |
顯示器 | ||
類型 | | 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD |
圖表 | | Rate, deviation, power or full screen numeric |
一般 | ||
功率 | | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W |
合規性 | | CE, RoHS |
Windows® 軟件 | | Included |
殼體/安裝 | | 5 1/4” half-rack |