


• 在MEMS和封裝領域,SUSS涂膠顯影設備得到廣泛應用和客戶支持
• 提供包括PR/PI的旋涂/噴涂、顯影、HMDS處理、熱板和冷板等功能,集成了如去厚膠邊,背面清洗,工藝腔自動清洗等功能。
• 同時,涂膠/顯影模塊可以通過準確控制工藝參數,如加裝溫濕度控制系統、涂膠/顯影方式、溫度、時間和用量,以達到工藝效果。





東莞市微觀科學儀器有限公司,坐落于東莞松山湖科技產業園廣東華中科技大學工業研究院。微觀科學專注于微觀領域,致力于打造觀察、測量、分析一站式綜合服務平臺;提供實驗室工程整體解決方案;提供非標自動化測量解決方案。主要合作產品有:日立電子顯微鏡、德國 FISCHER 全系列測厚儀等全系列實驗室儀器。廣泛應用于鑄造、冶金、金屬加工、機械制造、航kong航天、醫療、電力、石化、半導體、金屬回收、電子、塑膠、高校、科研機構、質檢機構等眾多行業領域。
• 在MEMS和封裝領域,SUSS涂膠顯影設備得到廣泛應用和客戶支持
• 提供包括PR/PI的旋涂/噴涂、顯影、HMDS處理、熱板和冷板等功能,集成了如去厚膠邊,背面清洗,工藝腔自動清洗等功能。
• 同時,涂膠/顯影模塊可以通過準確控制工藝參數,如加裝溫濕度控制系統、涂膠/顯影方式、溫度、時間和用量,以達到工藝效果。
*您想獲取產品的資料:
個人信息: