雙電組合四探針測試儀
一. 雙電組合四探針法原理:
1.通過采用四探針雙位組合測量技術(shù)，將范德堡測量方法應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進(jìn)行兩次電測量，其最后計算結(jié)果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的，對測量結(jié)果的不利影響。
2.在測試過程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。
3.自動修正，降低了其對測試結(jié)果的影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。
二. 雙電組合四探針法優(yōu)點(diǎn):
1.常規(guī)四探針測量方法解決不了,幾何邊界條件和探針間距的自動修正.
2.應(yīng)用于各類形狀的簿膜及片狀半導(dǎo)體材料。
