芯片切割水回用設備 權坤恒溫水循環(huán)系統(tǒng)
芯片切割廢水主要來源于晶圓切割過程中的研磨與清洗環(huán)節(jié)。這些廢水中含有懸浮物、有機溶劑、重金屬離子(如銅、鎳、鉻等)、氟化物、酸堿物質(zhì)等。廢水的成分復雜,濃度高,毒性大,且濃度波動性強?。
芯片切割水回用設備 權坤恒溫水循環(huán)系統(tǒng)
一、處理工藝流程
芯片切割廢水的處理工藝通常包括以下幾個步驟:
1?. 收集與初步過濾?:廢水首先通過廢水收集系統(tǒng)集中收集,然后使用水泵輸送至多介質(zhì)過濾器進行初步固液分離和懸浮物去除,防止后續(xù)處理設備堵塞?。
?2. 調(diào)節(jié)pH值?:通過加藥、混合等方法調(diào)節(jié)廢水的pH值,使其達到后續(xù)處理的范圍,有助于提高處理效率?。
3?. 化學沉淀?:向廢水中投加化學藥劑(如CaCl2、PAC等),使某些離子(如氟離子、磷酸根離子等)形成難溶于水的沉淀物,通過沉淀或過濾的方式將其去除?
4?. 生物處理?:在經(jīng)過預處理和化學處理后,剩余的有機物可以通過活性污泥法或生物膜法進一步降解。活性污泥法是通過廢水與含有大量微生物的活性污泥混合,在曝氣條件下進行反應;生物膜法則是在填料上形成一層生物膜,廢水通過填料時與生物膜接觸,微生物在膜上降解有機物?。
5?. 深度處理?:包括膜技術(如超濾、納濾、反滲透)和高級氧化技術(如臭氧氧化、光催化氧化等),用以去除微細顆粒、溶解態(tài)無機鹽和難降解有機物,實現(xiàn)廢水的深度凈化?。
二、具體設備和技術
?多介質(zhì)過濾器?:用于初步固液分離和懸浮物去除。
?調(diào)節(jié)池?:進行水量和水質(zhì)的均質(zhì)化處理。
?中和反應塔?:進行酸堿中和反應。
?沉淀池?:進行化學沉淀。
?生物反應池?:進行生物處理。
?深度處理裝置?:包括膜技術和高級氧化技術設備。