WaveMaster波前測量儀是應用于球面及非球面光學系統波前實時測量和分析的儀器,具有高空間分辨率和高精度的特征,整合了目前波前傳感技術。
應用范圍:
各種球面及非球面鏡片光學波前面和鏡片或鏡頭的表面面型的檢測
實驗室內大口徑精密鏡頭或鏡片的波前檢測
產線大批量鏡頭波前和表面面型的檢測
晶圓級鏡頭的波前檢測
技術指標:
微透鏡陣列138×138
波前測量精度優于 <λ/20(RMS)
波前測量動態范圍:2000λ
表面面型測量精度 <0.050μm(RMS)
表面面型動態范圍 >200μm
非球面度 <7度
測量波長(可定制)
數值孔徑(可定制)
被測樣品直徑(可定制)
被測樣品焦距(可定制)