




分類 | 項目 | 規格 | 備注 |
---|---|---|---|
加工平臺 | 行程 | 400×400mm | 滾珠螺桿驅動 |
加工范圍 | 400×400mm | ||
速度 | 250mm/sec | 15000mm/min | |
Z軸 | 行程 | 150mm | |
速度 | 200mm/sec | 12000mm/min | |
外形 | 設置空間 | 1500×1500×2200mm | 可用電梯搬送 |
重量 | 搬送 | 1900Kg | |
定位 | 10μ以下 0.05μm | 搭載光學尺 | |
控制裝置 | 定位(無輪郭指令) | 搭載Pitch誤差補正功能 | |
圖像處理 | 相機2式 | 加工行程全局檢測 | 200萬畫素、黑白 |
出力監視器1 | 檢查雷射輸出 | 于雷射發振器出口來計測 |
■ 選配
分類 | 項目 | 規格 | 備注 |
---|---|---|---|
高度檢測傳感器 | 雷射傳感器 | 檢測薄膜材料高度用 | |
觀察監視器 | CCD監視器 | 檢視加工點周遭 | |
出力監視器2 | fΘLens之后的輸出測定 | 檢測薄膜材料高度用 | |
集塵裝置 | 2.2KW集塵機 | PushPull方式 | |
自動化對應 | 個別對應 |
■ 掃描振鏡専用CAD/CAM系統
分類 | 項目 | 規格 | 備注 |
---|---|---|---|
高度檢測傳感器 | 雷射傳感器 | 檢測薄膜材料高度用 | |
觀察監視器 | CCD監視器 | 檢視加工點周遭 |

? SiC 雕刻加工 SiC engraving

? 陶瓷生胚切斷 LTCC green sheet cutting

? ITO膜剝離
? Au膜剝離
? 銅膜剝離及極小孔鉆孔