數(shù)控晶圓倒角機(jī)WGM-600/800為晶圓磨邊、晶圓倒角的專用設(shè)備,利用精密砂輪對(duì)晶圓進(jìn)行研磨整形加工。適用于2″- 6″晶圓、4″- 8″晶圓
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可加工T型、R型、RR型等多種邊形的晶圓
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按照設(shè)定參數(shù)數(shù)控自動(dòng)倒角加工
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可加工參考邊型晶圓及圓片
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自動(dòng)進(jìn)行粗研及精研加工
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可加工方片等異形晶圓
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可自動(dòng)檢測(cè)晶圓直徑
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配備晶圓清洗功能
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配備晶圓干燥功能