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單片晶圓濕式工藝設備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京科翰龍半導體裝備科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2025/2/3 10:45:43
  • 訪問次數(shù)41
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北京科翰龍半導體裝備科技有限公司是一家專業(yè)從事半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務的高科技企業(yè),可為客戶提供標準及定制的智能化生產(chǎn)設備。 科翰龍公司始創(chuàng)于2007年。科翰龍主創(chuàng)團隊為有著相關行業(yè)公司十年以上工作經(jīng)驗的專業(yè)人士,公司研發(fā)團隊在軟件開發(fā)、精密機械、激光及自動化技術方面有著的人才和技術優(yōu)勢。 科翰龍公司是國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)會員單位,一直致力于精密加工、激光及自動化技術在半導體微電子行業(yè)的應用。員單位,一直致力于精密加工、激光加工及自動化技術在半導體微電子行業(yè)的應用。公司主要開發(fā)和制造了三類產(chǎn)品:晶圓打碼倒片設備、晶圓倒角邊拋設備、單片濕式工藝設備。 晶圓打碼、倒片設備適用于2″- 12″各種材質晶圓的軟打碼、硬打碼及倒片作業(yè),有適用于晶圓卡塞上料的、FOUP POD上料的以及SMIF POD上料的機型,各型設備均符合SEMI標準。 晶圓倒角、邊拋設備有全自動晶圓磨邊機、數(shù)控晶圓倒角機、晶圓邊拋機及晶圓邊形輪廓儀,分別適用于晶圓的磨邊、倒角、邊拋及邊形輪廓檢測。 單片晶圓濕式工藝設備采用單片濕式工藝,可進行單片晶圓PVA刷洗、藥液清洗及腐蝕、兆聲清洗等工藝,實現(xiàn)晶圓的最終清洗、蝕刻或腐蝕等。 科翰龍公司秉承“做用戶值得信賴的合作伙伴”的理念,與用戶密切配合共同發(fā)展,過硬的產(chǎn)品及優(yōu)質的服務得到了廣大客戶的認可。產(chǎn)品在Si、Ge晶圓廠,GaAs、InP化合物半導體廠和SiC、GaN第三代半導體廠以及集成電路制造、封裝、半導體照明(LED)、微機電系統(tǒng)(MEMS)等領域均有應用。
磨邊機
采用單片晶圓濕式工藝設備,適用于2-6晶圓、4-8晶圓、8-12晶圓
單片晶圓濕式工藝設備 產(chǎn)品信息

采用單片晶圓濕式工藝設備,適用于2"-6"晶圓、4″- 8″晶圓、8″- 12″晶圓。

  • 工藝過程可編程,適應于晶圓最終清洗、投片前清洗、晶圓刻蝕等不同工藝

  • 可對正面及背面同時進行清洗或腐蝕

  • 采用雙手指機械臂傳送晶圓

  • 采用雙面無基礎清洗載物臺

  • 配備雙面PVA刷洗功能

  • 配備藥液控溫單元

  • 配備自動配藥單元

  • 可選配兆聲單元

  • 可選配自動滅火單元

15700106413
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