等離子體指部分或電離的氣體，且自由電子和離子所帶正、負電荷的總和抵消，宏觀上呈現中性電。等離子體又叫做電漿，是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質存在的第四態。

看似“神秘”的等離子體，其實是宇宙中一種常見的物質，在太陽、恒星、閃電中都存在等離子體，它占了整個宇宙的99%。現在人們已經掌握利用電場和磁場產生來控制等離子體。等離子體可分為兩種：高溫和低溫等離子體。

低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體，低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學反映所產生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發生反映，因此它們被用來對材料表面進行改性處理。

與傳統的方法相比，等離子體表面處理具有成本低、無廢棄物、無污染等顯著的優點，同時可以得到傳統的化學方法難以達到的處理效果。低溫等離子設備價格現在低溫等離子設備廣泛運用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領域。

等離子設備中頻，射頻等離子處理機型；處理方式有水平、垂直、卷式RTR、轉鼓等真空等離子處理設備和噴射、準輝光、隧道、水平線多種常壓等離子處理設備；

等離子處理機具有高穩定性、高性價比、高均勻性等諸多優點。

特色鮮明的處理腔體形狀和電極結構可以滿足不同形狀、不同材質的表面處理要求，包括薄膜、織物、零件、粉體和顆粒等。

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