單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn):
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源,等離子體更穩(wěn)定;
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);
可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長溫度更低。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào):TFE - 1200 - 50 - 220
設(shè)計(jì)溫度:1150℃(短期)
額定溫度:1100℃
推薦升溫速率:≤10℃/min
控制精度:±1℃
爐管尺寸:Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸:Φ80*220mm
加熱區(qū)長度:220mm
恒溫區(qū)長度:80mm
加熱元件:優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲
額定功率:3KW
供氣系統(tǒng):
①三路高精度MFC
②量程0-500sccm(可定制)
射頻電源:
①射頻功率:5-500W;
②射頻頻率:13.56MHz;
③匹配方式:自動(dòng)匹配
真空系統(tǒng):雙級(jí)旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等)
外形尺寸:1250*510*810mm