SEM-N系列聚酰亞胺固化烤箱是一種清潔工藝烘箱,專為聚酰亞胺硬烘烤和固化應用而設計。
許多半導體制造環境的前端機器適用于聚酰亞胺固化。
這種昂貴的工藝導致設備在清潔度,惰性氣氛能力,循環時間或數據采集方面通常不適合聚酰亞胺固化。
SEM-N系列烤箱優化了半導體的聚酰亞胺固化工藝
晶圓器件。它可以縮短周期時間,并為產品負載中的所有晶圓提供一致,可重復的固化過程。我們為SEM-N系列烤箱設計了一個壓力釋放系統,該系統包括一個可拆卸的“冷阱”,一個易于清潔的冷凝水收集器,有助于防止聚酰胺在爐內排氣中積聚。
標準功能:
u 再循環空氣100%通過99.99%HEPA過濾器過濾,用于ISO 5級(100級)或高的操作
u 集成的PC 接口,具有實時圖形顯示功能
u 氧氣監控系統
u 16千瓦加熱器容量
u 自動水控制,帶不銹鋼水冷盤管
u 溫度可達(450°C)
u 快速循環時間,每分鐘5°C
u 溫度均勻性為±1%
u 每層23千克