ZERNIKE提供干涉儀平面標(biāo)準鏡和球面標(biāo)準鏡,平面標(biāo)準鏡包含平面透射標(biāo)準鏡和平面反射標(biāo)準鏡。 有效口徑有150mm,100mm,60mm,30mm,標(biāo)準鏡與Zygo 、富士通通用。
標(biāo)準鏡技術(shù)參數(shù) | |||
型號 | 有效口徑 | 材料 | 精度 (λ=632.8nm) |
ZK-150-TF | 150mm | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |
ZK-100-RF | 100 mm | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |
ZK-60-RF | 60mm | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |
ZK-30-RF | 30mm | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |