勞厄單晶取向測試系統：
- 背散射勞厄測試系統，實時確定晶體方向，精度高達0.1度；
- PSEL 軟件定向誤差低至 0.05度；
- 多晶硅片二維定向mapping；
- 大批量樣品篩選；
- 超20kg重負荷樣品定位
水平放置系統
特征 | 優點 |
<200um 光束尺寸 | 可測量小 晶體 |
電動位移臺 | 可沿生長軸軸向掃描 |
電動角位移 | 與同步加速器/中子設備直接兼容 |
手動角位移 | 與切割刀具直接兼容 |
垂直放置系統
特征 | 優點 |
<200um 光斑 | 適用于小晶粒的多晶結構 |
大范圍電動線性掃描位移臺 | 允許自動晶圓mapping或多個樣品 |
電動Z 軸驅動 | 適用大尺寸晶棒或樣品 |
手動角位移 | 允許定位到+/- 0.02度精度 |
配備PSEL CCD 背反射勞厄X-RAY 探測器：
- 有效輸入探測面約： 155*105 mm
- 小輸入有效像素尺寸83um，1867*1265 像素陣列
- 可選曝光時間從1ms 到35分鐘
- 芯片上像素疊加允許以犧牲分辨率為代價增強靈敏度
- 自動背景扣除模式
- 16位高精度采集模式
- 12位快速預覽模式
- PSEL 勞厄影像采集處理專業軟件
勞厄影像校準軟件：
- 自動檢測衍射斑點，并根據參考晶體計算斑點位置；
- 根據測角儀和晶體軸自動計算定向誤差(不需要手動擬合扭曲的圖形)
- 以CSV格式保存角度測量值，以進一步保證質量的可追溯性；
- 頂部到底部的終端用戶菜單，允許*結晶學用戶自行逐步確認定位程序；
- 基于Python的軟件，允許使用套接字命令對現有軟件/系統進行遠程訪問控制；
系統附件包括：
- 勞厄X-RAY 探測器
- 勞厄校準軟件
- 高亮度X-RAY 發生器
- 電動/手動 角位移臺& 高精度位移臺；
- 樣本定位/視頻監控 攝像頭；
- 激光距離傳感器/操縱桿
典型勞厄衍射應用圖樣：
勞厄單晶取向測試系統應用方向：
- 探測器材料： HgCdTe/CdTe, InGaAs, InSb;
- 窗口玻璃材料&壓電/鐵電陶瓷： Al2O3, Quantz，LiNbO3
- 金屬合金： 鎢，鉬，鎳基合金；
- 激光晶體材料： YAG, KTP, GaAs
- 薄膜/半導體基地材料： AIN, InP SiC;
- 磁性&超導材料: BCO/BSCCO/HBCCO, FeSe， NbSn/NbTi
- 閃爍體材料： BGO/LYSO, CdWO4, BaF2/CaF2;
